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壓電噴射閥(冷膠) 熱熔膠噴射閥 壓電微動平臺 三軸精密流體打印
壓電微動平臺
壓電陶瓷與精密驅動的完美結合
產品參數
應用案例
詳細介紹

  一、超精密壓電陶瓷微動臺技術  


隨著微納米工藝的發展,對于微納米級精密定位裝置的需求也不斷增加,在桌上工廠工作臺、精密顯微鏡載物臺、生物醫療器械、半導體設備、手機終端檢測、手機屏光學 檢測、超精密攝像機攝像頭等需要精密定位的裝置上,微米甚至納米級微動臺的應用相當的廣泛而且越來越起著決定性的作用,所以大力發展微動臺技術是相當必要而且亟待的。

壓電精密微動臺是利用壓電陶瓷的逆壓電效應、摩擦傳動以及彈性體諧振變形放大原理,推動動子運動,將電能轉化為機械能的一種驅動設備。它具有結構簡單緊湊、保持力大、斷電自鎖、定位精度高、響應快、無電磁干擾等優點,在工業領域有著獨特的優勢。

我司已開發的可直線精密定位的壓電定位微動臺技術(共振型),以及多層小型精密微動臺(非共振型)。前者定位平臺的最大運行速度是250 mm/s,最大推力是14N,定位精度±1μm,重復定位精度±0.5μm。后者外形尺寸70 x 20 x 25mm,行程60mm,速度10mm/s,定位精度明顯高于前者。


中型壓電微動臺(左圖);共振模擬測試(右圖)


圖:小型壓電微動臺



  二、微型壓電執行器  


(可用于手機潛望鏡頭模組)

壓電螺紋驅動器,作為壓電驅動器的一種,是一種使用壓電陶瓷彎曲變形和螺紋摩擦驅動相結合的方式產生直線位移的一種壓電驅動器。我司曾研發的一款基于螺紋驅動原理的壓電驅動器,該壓電螺紋驅動器采用壓電圓管的彎曲振動,在圓管的兩端產生類似呼啦圈式的搖擺振動,然后通過固定在圓管上的螺母-螺桿副將搖擺振動轉化為螺桿的旋轉運動,進一步轉化為螺桿的直線運動,適用于對驅動器有大推力-高精度-微小體積要求的應用場合,該驅動器不產生電磁干擾,已經成為電磁電機應用時的一個有力補充,在特殊環境下的超精密定位、精密儀器、光學儀器、生物器械、醫療設備、微機電系統等方面有著廣泛的應用前景。諸如“新思考”等國內外企業已開始研究該技術用于手機光學模組領域,實現光學系統的機械式大行程變焦。

該驅動器具有以下的優點:

結構簡單、小巧,僅由壓電陶瓷圓管、螺母、螺桿組成;

微米級的定位分辨率;

0-10 mm/s的直線運動速度;

斷電自鎖;          

可根據實際應用選擇相應的行程;

工作時安靜、無噪聲產生。

我司研制的壓電螺紋驅動器(左);網上公開的潛望鏡示意圖(右)



  三、微型壓電驅動器  


(可用于機械式光學聚焦)

利用壓電陶瓷可實現精密驅動、響應速度快、無電磁干擾、且小型化之后仍可以帶動執行負載等特點,可以將光學鏡頭內嵌到壓電驅動元件內部,實現光學與驅動系統的高度集成,這是目前傳統電磁驅動原理的器件所無法達到的特點,該技術曾經演示給手機國外客戶,引起極大關注。我司研制的樣品是按照目前手機鏡頭的規格制備的,目前僅具備聚焦功能,利用該技術可實現鏡頭的機械方式快速聚焦,該技術可作為小尺寸且高集成度的鏡頭解決方案。該驅動器如果采用疊層壓電陶瓷,則驅動電壓可進一步降低,控制在手機等便攜式電子產品要求的電壓范圍之內。該技術可用于手機、無人機等需要光學聚焦但又受到使用空間或重量嚴格限制等場合。




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